博瑞 FAO-165LM 直驅平臺
? 標準模塊化設計，靈活的多軸組合應用 ? 連續推力57.4N-681.6N ? 輕量化、高剛性的結構設計，長期的精度穩定性和長壽命 ? 低成本、高性能的代表之作
產品分類：運動控制 機械傳動 滑軌 運動機械部件
品牌：博瑞
產品介紹
FAO-165LM 直驅平臺
特點：
?Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
?定位精度高達（直線誤差修正后）：±3μm
?擁有極佳線性表現的光柵反饋系統，分辨率最高可達50nm
?標準的模塊化設計，靈活的單軸/多軸解決方案
?整體密封結構，輕量化、高剛性結構設計，超高性價比
Design Details：
基礎材料 | 進口7075鋁合金，有限元分析優化，一體化加工成型 |
直線軸承 | 精密研磨加工，4方向等負荷，精密級進口直線導軌 |
驅動系統 | 高性能無鐵芯直線電機 |
電機換向 | 通過編碼器反饋進行換向（由控制器） |
反饋 | 開放式高精度直線玻璃光柵尺，20μm柵距，分辨率從1μm~50nm |
Home Switch | 光學零位，位于光柵尺基礎軌道，平臺一側或者指定任意位置 |
Limit Switches | 光學 |
Cable | 標準1000mm,2000mm,3000mm，亦可根據需求進行定制 |
控制方案 | 推薦PMAC Clipper+Parker P系列驅動器(高精度、高動態響應) 推薦Parker PAC+Parker Aries系列驅動器(高分布式高速運動總線) |
Specifications：
| Model | FAO 165LM-0100 | FAO 165LM-0150 | FAO 165LM-0200 | FAO 165LM-0300 | ||
| 行程 | Travel | 100(mm) | 150(mm) | 200(mm) | 300(mm) | |
| 定位精度 | Accuracy (1) | Standard | ±7μm | ±7.5μm | ±8.5μm | ±10μm |
| Facter | ±2.5μm | ±2.5μm | ±2.5μm | ±3μm | ||
| 分辨率 | Resolution (5) | 0.5μm | ||||
| 雙向重復定位精度 | Bi-Directional Repeatability (1) | ±0.75μm | ||||
| 直線度 | Straightness (1) | ±5μm | ±5.5μm | ±6.5μm | ±8μm | |
| 平面度 | Flatness (1) | ±5μm | ±5.5μm | ±6.5μm | ±8μm | |
| 俯仰角誤差 | Pitch（2） | 10 arc sec | 11 arc sec | 13 arc sec | 16 arc sec | |
| 橫滾角誤差 | Roll | 10 arc sec | 11 arc sec | 13 arc sec | 16 arc sec | |
| 偏航角誤差 | Yaw（2） | 12 arc sec | 12 arc sec | 16 arc sec | 20 arc sec | |
| 最大速度 | Maximum Speed（4） | 2m/s | ||||
| 最大加速度 | Maximum Acceleration | 3g | ||||
| 最大連續推力 | Maximum Force (Continuous)（3） | 63.1N | ||||
| 負載能力 | Load Capacity (3) | Horizontal | 45kg | |||
| Side | 45kg | |||||
| 運動臺質量 | Moving Mass | 2.5kg | ||||
| 平臺質量 | Stage Mass | 10kg | 11kg | 12kg | 14kg | |
| 材料 | Material | Aluminum,7075 | ||||
| Model | FAO 165LM-0400 | FAO 165LM-0500 | FAO 165LM-0600 | ||
| 行程 | Travel | 400(mm) | 500(mm) | 600(mm) | |
| 定位精度 | Accuracy (1) | Standard | ±11.5μm | ±13μm | ±15μm |
| Facter | ±3μm | ±4μm | ±4μm | ||
| 分辨率 | Resolution (5) | 0.5μm | |||
| 雙向重復定位精度 | Bi-Directional Repeatability (1) | ±0.75μm | |||
| 直線度 | Straightness (1) | ±10.5μm | ±12μm | ±13.5μm | |
| 平面度 | Flatness (1) | ±10.5μm | ±12μm | ±13.5μm | |
| 俯仰角誤差 | Pitch（2） | 21 arc sec | 24 arc sec | 27 arc sec | |
| 橫滾角誤差 | Roll | 21 arc sec | 24 arc sec | 27 arc sec | |
| 偏航角誤差 | Yaw（2） | 25 arc sec | 29 arc sec | 33 arc sec | |
| 最大速度 | Maximum Speed（4） | 2m/s | |||
| 最大加速度 | Maximum Acceleration | 3g | |||
| 最大連續推力 | Maximum Force (Continuous)（3） | 63.1N | |||
| 負載能力 | Load Capacity (3) | Horizontal | 45kg | ||
| Side | 45kg | ||||
| 運動臺質量 | Moving Mass | 2.5kg | |||
| 平臺質量 | Stage Mass | 16kg | 18kg | 20kg | |
| 材料 | Material | Aluminum,7075 | |||
| 注1：在環境溫度20℃，平臺水平放置使用的情況下，使用激光干涉儀測量的精度誤差； | |||||
| 注2：在環境溫度20℃，平臺水平放置使用的情況下，使用高精度光電自準直儀測量的精度誤差; | |||||
| 注3：最大連續推力是建立在線圈繞組溫度保持在120℃且平臺水平放置使用的基礎上； | |||||
| 注4：最大工作速度取決于客戶端的控制器、驅動器與光柵分辨率的匹配； | |||||
| 注5：分辨率指光柵反饋系統的最高分辨率（標準配置），亦指平臺最小微位移量； | |||||
| 注6：平臺采取壁掛、倒置姿勢使用時，特性會發生相應變化，請提前向工程師咨詢； | |||||
| 注7：多軸組合使用因涉及精密軸系裝配工藝，請提前向工程師咨詢； | |||||
| 注8：多軸、非標準應用或定制服務，請向工程師咨詢； |
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