博瑞 SWI-560LM 精密直驅平臺
? 模塊化結構設計，靈活的搭建方式 ? 連續推力57.4N-681.6N ? 極佳的平滑運動，極小的動態跟隨誤差 ? 極佳的point-to-point位置精度以及亞微米級的重復性
產品分類：運動控制 機械傳動 滑軌 運動機械部件
品牌：博瑞
產品介紹
SWI-560LM 高性能直驅平臺
特點：
?Travel ：200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
?定位精度高達（直線誤差修正后）：±1μm（Travel≤200mm）
?擁有極佳線性表現的光柵反饋系統，分辨率最高可達1.2nm
?標準的模塊化設計，靈活的單軸/多軸解決方案
?整體密封結構，輕量化、高剛性結構設計，低成本，高性能
Design Details：
基礎材料 | 進口7075鋁合金，有限元分析優化，一體化加工成型 |
直線軸承 | 精密研磨加工，4方向等負荷，超精密級進口直線導軌 |
驅動系統 | 進口無鐵芯直線電機，帶霍爾傳感器&溫度控制 |
電機換向 | 通過霍爾傳感器or編碼器反饋進行換向（由控制器） |
反饋 | 開放式高精度直線玻璃光柵尺，20μm柵距，分辨率從0.1μm~1.2nm |
Home Switch | 光學零位，位于光柵尺基礎軌道，平臺一側或者指定任意位置 |
Limit Switches | 光學 |
Cable | 標準1000mm,2000mm,3000mm，亦可根據需求進行定制 |
控制方案 | 推薦使用 UMAC+Parker C3驅動器 |
Specifications：
| Model | SWI 560LM-0200 | SWI 560LM-0300 | SWI 560LM-0400 | SWI 560LM-0500 | SWI 560LM-0600 | ||
| 行程 | Travel | 200(mm) | 300(mm) | 400(mm) | 500(mm) | 600(mm) | |
| 定位精度 | Accuracy (1) | Standard | ±5.5μm | ±7μm | ±8.5μm | ±10μm | ±12μm |
| Facter | ±1.5μm | ±2μm | ±2μm | ±2.5μm | ±2.5μm | ||
| 分辨率 | Resolution (5) | 50nm | |||||
| 雙向重復定位精度 | Bi-Directional Repeatability (1) | ±0.25μm | |||||
| 直線度 | Straightness (1) | ±4μm | ±5μm | ±6.5μm | ±7.5μm | ±8μm | |
| 平面度 | Flatness (1) | ±4μm | ±5μm | ±6.5μm | ±7.5μm | ±8μm | |
| 俯仰角誤差 | Pitch（2） | 8 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec | 15.5 arc sec | 18 arc sec | |
| 橫滾角誤差 | Roll | 8 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec | 15.5 arc sec | 18 arc sec | |
| 偏航角誤差 | Yaw（2） | 11 arc sec | 13 arc sec | 16 arc sec | 19.5 arc sec | 22.5 arc sec | |
| 最大速度 | Maximum Speed（4） | 2m/s | |||||
| 最大加速度 | Maximum Acceleration | 3g | |||||
| 最大連續推力 | Maximum Force (Continuous)（3） | 681.6N | |||||
| 負載能力 | Load Capacity (3) | Horizontal | 150kg | ||||
| Side | 150kg | ||||||
| 運動臺質量 | Moving Mass | 20kg | |||||
| 平臺質量 | Stage Mass | 98kg | 98kg | 110kg | 118kg | 130kg | |
| 材料 | Material | Aluminum,7075 | |||||
| 注1：在環境溫度20℃，平臺水平放置使用的情況下，使用激光干涉儀測量的精度誤差； | |||||
| 注2：在環境溫度20℃，平臺水平放置使用的情況下，使用高精度光電自準直儀測量的精度誤差; | |||||
| 注3：最大連續推力是建立在線圈繞組溫度保持在100℃且平臺水平放置使用的基礎上； | |||||
| 注4：最大工作速度取決于客戶端的控制器、驅動器與光柵分辨率的匹配； | |||||
| 注5：分辨率指光柵反饋系統的最高分辨率（標準配置），亦指平臺最小微位移量； | |||||
| 注6：平臺采取壁掛、倒置姿勢使用時，特性會發生相應變化，請提前向工程師咨詢； | |||||
| 注7：多軸組合使用因涉及精密軸系裝配工藝，請提前向工程師咨詢； | |||||
| 注8：多軸、非標準應用或定制服務，請向工程師咨詢； |
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